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TÉOS

Orthosilicate de tétraéthyle

L'éthylsilicate (TEOS) est utilisé comme matière première utilisée dans le dépôt de la technologie des semi-conducteurs peut être utilisé pour le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) la surface de la silice dans les dépôts de plaquettes SiC, assurer la densité du milieu de la couche d'oxyde et la capacité d'adhérence des plaquettes SiC, améliorer les performances de l'appareil et le rendement, et éviter afin d'obtenir une certaine épaisseur de couche d'oxyde des défauts d'oxydation à haute température de longue durée.

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Orthosilicate de tétraéthyle
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Processus

Le TEOS est obtenu par estérification du tétrachlorure de silicium et de l'éthanol à température et pression normales.
TEOS teinté par adsorption, distillation et filtration. Jin Hong a conclu une coopération stratégique avec de grandes sociétés de semi-conducteurs et peut fournir plus de 1,200 XNUMX tonnes de TEOS de qualité électronique chaque année.

Produit TÉOS
N ° CAS. 78-10-4
Purity ≥99.9%
Applications
  • Semi-conducteurs
    Semi-conducteurs

    TEOS peut être utilisé pour le dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) de la surface de la silice dans les dépôts de tranches de SiC.

Questions fréquemment posées
  • Q : Quelle est la spécification que vous pouvez fournir ?

    Cylindre : 5 gallons Valve : 1/4'VCR Contenu : 17kg

    Cylindre : 10 gallons Valve : 1/4'VCR Contenu : 34kg

    Cylindre : 200L Valve : 1/4'VCR Contenu : 190kg

  • Quelle est la condition de stockage de TEOS ?

    TEOS doit être stocké dans un entrepôt frais, sec et bien aéré. Tenir à l'écart du feu et des sources de chaleur. La température de stockage ne doit pas dépasser 37°C. Conserver le récipient bien fermé. Il doit être stocké séparément des oxydants, des acides et des alcalis, et ne doit pas être mélangé. Des installations d'éclairage et de ventilation antidéflagrantes sont adoptées.

  • Quelles sont les utilisations de TEOS ?

    Le TEOS est souvent utilisé pour préparer des revêtements résistants à la chaleur et aux produits chimiques et des solvants de silicium organique. Il peut également être utilisé dans la synthèse organique, les matières premières de base pour la préparation de cristaux avancés, les agents de traitement du verre optique, les agents de liaison et les matériaux isolants dans l'industrie électronique.

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