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PH₃/H₂

Phosphine dans l'hydrogène

Le phosphorane est une source dopée de type n importante dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, et il est également utilisé dans le dépôt chimique en phase vapeur de polysilicium, le matériau GaP épitaxial, le processus d'implantation d'ions, le processus MOCVD, la préparation de films de passivation en verre de silicium phosphoreux (PSG) et d'autres processus.

C'est combien
  • Vue d'ensemble
  • Description
  • QFP
  • C'est combien
  • Produits annexes
Phosphine dans l'hydrogène
Phosphine dans l'hydrogène
Phosphine dans l'hydrogène
Phosphine dans l'hydrogène
Processus

mélange

Nom chimique Phosphine Hydrogène
N ° CAS. 7803-51-2 1333-74-0
N° ONU 1954
Éléments d'étiquetage
  • 1656661073891-ckt

    Mention d'avertissement : Danger

Description

PROPRIETES physiques et chimiques
État physique : Gaz.
Aspect : Incolore.
Odeur : Répulsive.
Seuil olfactif : 0.51 ppm (PH3)
Température d'auto-inflammation : 38 °C / 100 °F (Phosphine)

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Mentions de danger

Fatal si inhalé
Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires
Gaz extrêmement inflammable
Incendie spontanément s'il est exposé à l'air
Contient du gaz sous pression; peut exploser si chauffé
Peut former des mélanges explosifs avec l'air
Les symptômes peuvent être retardés


Prévention

Tenir à l'écart de la chaleur, des étincelles, des flammes nues et des surfaces chaudes.
Interdiction de fumer
Ne pas respirer les gaz.
Utiliser et stocker uniquement à l'extérieur ou dans un endroit bien ventilé
Porter des gants de protection, des vêtements de protection, une protection oculaire, une protection respiratoire et/ou une protection faciale
Utiliser un dispositif anti-refoulement dans la tuyauterie
Utiliser un équipement purgé avec un gaz inerte ou évacué avant la décharge de la bouteille
Utiliser uniquement avec des équipements de matériaux de construction compatibles et évalués pour la pression du cylindre
Ne pas ouvrir la vanne tant qu'elle n'est pas connectée à l'équipement prêt à l'emploi
Fermer la valve après chaque utilisation et lorsqu'elle est vide
Lors du retour de la bouteille, installez un capuchon ou un bouchon de sortie de soupape étanche


Remise et stockage

Protéger de la lumière du soleil lorsque la température ambiante dépasse 52°C/125°F
Entreposer dans un endroit frais, sec et bien aéré de construction incombustible, à l'écart de
les zones de circulation et les issues de secours.
Conserver à des températures inférieures à 52°C / 125°F.
Les bouteilles doivent être entreposées debout avec le capuchon de protection de la valve en place et solidement fixées pour éviter qu'elles ne tombent.
Les bouteilles pleines et vides doivent être séparées.
Utilisez un système d'inventaire « premier entré, premier sorti » pour éviter que des bouteilles pleines ne soient stockées pendant des périodes excessives.
Les contenants entreposés doivent être périodiquement vérifiés pour leur état général et les fuites.
Un stockage extérieur ou détaché est préférable.

Questions fréquemment posées
  • Q : Quelle est la spécification que vous pouvez fournir ?

    Gaz : PH3/H2 Cylindre : 44L Vanne : DISS632

C'est combien
Produits annexes

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