Le mélange de 80 % de gaz CF4 avec 20 % de gaz O2 peut être largement utilisé dans le nettoyage de surface des composants électroniques, des cellules solaires, de la technologie laser et d'autres domaines.
mélange
| Nom chimique | Oxygène | Tétrafluorométhane |
| N ° CAS. | 7782-44-7 | 75-73-0 |
| N° ONU | 1956 | |
Mention d'avertissement : Avertissement
Le mélange gazeux de tétrafluorométhane et d'oxygène est largement utilisé dans les matériaux à couche mince de silicium, silice, silicium, phosphore nitrure de silicium tels que la gravure du verre et du tungstène, dans la production de composants électroniques, nettoyage de surface, cellules solaires, technologie laser, isolation en phase gazeuse, cryogénique réfrigération, agent d'inspection des fuites, fusées spatiales de contrôle d'attitude, circuit imprimé a également beaucoup d'utilisation dans la production de détergent, etc.
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