La formule chimique du trifluorure d'azote est NF₃. C'est un gaz incolore, inodore et stable à température normale. C'est un oxydant puissant. Le trifluorure d'azote de haute pureté a une excellente vitesse de gravure et une excellente sélectivité, et c'est également un très bon agent de nettoyage. Jinhong peut vous fournir du gaz de trifluorure d'azote de haute pureté pour améliorer votre procédé de fabrication de semi-conducteurs.
Azote le trifluorure est préparé par fluoration directe de ammoniac. Il peut également être obtenu par électrolyse du bifluorure d'ammonium fondu ou par combinaison directe des éléments azote et fluor à l'aide d'une décharge électrique à basse température.
| Essence | Trifluorure d'azote |
| N ° CAS. | 7783-54-2 |
| Purity | 99.999 % |
Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent d'attaque sélectif à grande vitesse dans le traitement du silicium. Il a été utilisé pour graver le silicium, le polysilicium, le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium ainsi que les métaux réfractaires et les siliciures.
Le trifluorure d'azote est parfois utilisé comme source de fluor dans les lasers chimiques HF / DF. Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent de fluoration. Le trifluorure d'azote est également utilisé pour le traitement des fibres.
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