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NF₃

trifluorure d'azote

La formule chimique du trifluorure d'azote est NF₃. C'est un gaz incolore, inodore et stable à température normale. C'est un oxydant puissant. Le trifluorure d'azote de haute pureté a une excellente vitesse de gravure et une excellente sélectivité, et c'est également un très bon agent de nettoyage. Jinhong peut vous fournir du gaz de trifluorure d'azote de haute pureté pour améliorer votre procédé de fabrication de semi-conducteurs.

C'est combien
  • Aperçu
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  • Produits annexes
trifluorure d'azote
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trifluorure d'azote
trifluorure d'azote
Le processus

Azote le trifluorure est préparé par fluoration directe de ammoniac. Il peut également être obtenu par électrolyse du bifluorure d'ammonium fondu ou par combinaison directe des éléments azote et fluor à l'aide d'une décharge électrique à basse température.

Gaz Trifluorure d'azote
N ° CAS. 7783-54-2
Purity 99.99%
Applications
  • Traitement du silicium
    Traitement du silicium

    Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent d'attaque sélectif à grande vitesse dans le traitement du silicium. Il a été utilisé pour graver le silicium, le polysilicium, le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium ainsi que les métaux réfractaires et les siliciures.

  • Industrie
    Industrie

    Le trifluorure d'azote est parfois utilisé comme source de fluor dans les lasers chimiques HF / DF. Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent de fluoration. Le trifluorure d'azote est également utilisé pour le traitement des fibres.

Questions fréquemment posées
  • Q : Quelle est la spécification que vous pouvez fournir ?

    Cylindre : 44L Valve : CGA640 Contenu : 20kg
    Cylindre : 440L Valve : CGA640 Contenu : 200kg
    Vanne ISO-20ft : CGA640 Contenu : 4000kg
    Vanne ISO-40ft : CGA640 Contenu : 8000kg

C'est combien
Produits annexes

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