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C₂F₆

Hexafluoroéthane

L'hexafluoroéthane est un gaz incolore et inflammable, insoluble dans l'eau mais soluble dans l'éthanol. Son point d'ébullition est de -78.2°C, son point de fusion de -100.6°C et sa température critique de 19.7°C. L'hexafluoroéthane est généralement utilisé pour le gaz de gravure au plasma dans l'industrie de la microélectronique, ainsi que pour le nettoyage de la surface des dispositifs, la production de fibres optiques et la réfrigération à basse température.

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Hexafluoroéthane
Hexafluoroéthane
Hexafluoroéthane
Hexafluoroéthane
Processus

L'hexafluoroéthane peut être obtenu comme sous-produit de la production de CFC ou par fluoration directe de l'éthane.

Essence Hexafluoroéthane
N ° CAS. 76-16-4
Purity 99.999 %
Applications
  • Semi-conducteurs
    Semi-conducteurs

    L'hexafluoroéthane est utilisé pour la gravure sèche du dioxyde de silicium et pour le décapage de la résine photosensible.

  • Réfrigérant
    Réfrigérant

    L'hexafluoroéthane est utilisé comme réfrigérant dans certaines applications à basse température et comme composant dans certains mélanges de réfrigérants.

Questions fréquemment posées
  • Q : Quelle est la spécification que vous pouvez fournir ?

    Cylindre : 44 L Valve : CGA660, DISS716 Contenu : 40 kg

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C₂F₆
Hexafluoroéthane

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